Нано- и микросистемная техника №3 2022 (4440,00 руб.)

Страниц	56

ID	923923
Аннотация	В издании освещаются состояние, тенденции и перспективы развития микросистемной техники — новой области науки и техники, связанной с разработкой и созданием в микрообъёмах твёрдого тела или на его поверхности миниатюрных чувствительных, исполнительных и энергообеспечивающих систем. Рассматриваются вопросы разработки микро-, электро-, микрооптомеханических и микробиологических систем на основе микро- и нанотехнологий.

Нано- и микросистемная техника .— 1999 .— 2022 .— №3 .— 56 с. — URL: https://rucont.ru/efd/923923 (дата обращения: 28.04.2025)